Leysitækni er mjög vinsæl í mjúkum og þunnum prentplötum. Notkun leysigeisla er fyrir etsun á landbúnaðarplötum, þar sem það krefst einsleitni í geislastærð og mjög þröngs hitauppstreymissvæðis. Ftheta verður flókin hönnun og húðun.
Carmanhaas býður upp á faglega leysigeisla-etsunarbúnað. Ljósfræðilegir íhlutir vísa aðallega til ljósfræðilegra íhluta sem notaðir eru í etsun á rafrásarplötum. Þessi ljósfræðilegu kerfi eru almennt samsett úr galvanómetrum sem skanna kerfi, þar á meðal geislaþenslutækjum, galvanómetrum og F-THETA skannalinsum.
(1) Nákvæmni linsuyfirborðs < λ/5, samsetningaráætlun hlutlinsunnar er nauðsynleg til að tryggja að hæð punktsins sé jöfn;
(2) Samkvæmni í fullu sniði með áherslu á blett >95%;
(3) Samkvæmni brennipunktsfletis <0,5 mm;
(4) Brennvíddarhlutfall sniðs >1,05.
1064nm F-Theta linsa
| Lýsing á hluta | Brennivídd (mm) | Skanna reitur (mm) | Hámarks inngangur Sjáaldur (mm) | Vinnslufjarlægð (mm) | Uppsetning Þráður |
| SL-1064-140-200 | 200 | 140x140 | 14 | 208 | M85x1 |
| SL-1064-185-255-(16CA) | 255 | 185x185 | 16 | 274 | M85x1 |
1064nm geislaútvíkkun
| Lýsing á hluta | Útvíkkun Hlutfall | Inntaks-CA (mm) | Úttak CA (mm) | Þvermál húss (mm) | Húsnæði Lengd (mm) | Uppsetning Þráður |
| BE-1064-D23:40,5-1,5x | 1,5 sinnum | 10 | 20,7 | 27 | 40,5 | M22*0,75 |
| BE4-(1030-1090)-D35:163.9-Z14x | 1X-4X | 20 | 35 | 44 | 163,9 | / |
| BE4-(1030-1090)-D34:162.6-Z210x | 2X-10X | 14 | 34 | 40 | 162,6 | / |
1064nm spegill
| Þvermál (mm) | Þykkt (mm) | Húðun |
| 25.4 | 6,35 | HR@1030-1090nm, 45° AOI |
| 30 | 5 | HR@1030-1090nm, 45° AOI |
| 50 | 10 | HR@1030-1090nm, 45° AOI |
